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KASHIYAMA樫山工業SDL3600節能干式真空泵 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

KASHIYAMA樫山工業噪音干式真空泵SDL36E60 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

KASHIYAMA樫山工業SDL20E50水封式真空泵 能夠很好地應對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節拍時間通過組合可實現大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側排氣速通過大型負載鎖定室的高速排氣縮短節拍時間。

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北崎KASHIYAMA樫山工業SDE603X干式真空泵 采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用單螺桿形狀實現節能、多樣化的產品線可滿足所有流程

KASHIYAMA樫山工業耐加工干式真空泵SDE303X 采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用單螺桿形狀實現節能、多樣化的產品線可滿足所有流程